当然,实际的研究中,这种胶材料并没有那么容易,但难度至少比光刻胶低很多,一番研究之后,522实验室就拿出了几款比较适合的滴胶材料。
老刘看着资料,顿时心里面有一种豪情万丈的感觉:“中微半导体的蚀刻机调试好了,现在万事俱备了,我们开始吧!”
“同意。”
“也好,是骡子是马,总要拉出来试一试。”
“我感觉成功率应该非常高。”
“你小子倒是有信心,如果成功了,大家都要名垂青史了。”
不一会。
他们来到了负责测试的523实验室。
随着滴胶印模板插入滴胶机中,滴胶室内的空气已经被抽空,替换成为不会和胶材料反应,也不会发生电离反应的高纯度惰性气体。
同时除尘设备也持续运行着,保持这个滴胶室内的高度洁净,避免灰尘被电离吸引,从而影响滴胶机的性能。
纯水清洗后的8寸硅片,经过干燥之后,被机器送入滴胶机之中。
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